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大家好,關(guān)關(guān)來為大家解答以上問題。芯片光刻機是干什么用的,光刻機是干什么用的這個很多人還不知道,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧!
1、掩模對準器又稱掩模對準曝光機、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等。
2、常用的掩模對準器是掩模對準光刻,因此被稱為掩模對準系統(tǒng)。
3、一般的光刻工藝都要經(jīng)過硅片表面清洗干燥、打底、旋涂光刻膠、軟烘烤、對準曝光、后烘烤、顯影、硬烘烤、刻蝕等工序。
4、光刻是指用光制作圖形(工藝);將硅片表面的膠水抹平,然后將掩模上的圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上的過程,將器件或電路結(jié)構(gòu)暫時“復(fù)制”到硅片上。
本文到此結(jié)束,希望對大家有所幫助。
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