突破物理極限光刻機(jī)之戰(zhàn)

2023-05-08 12:12:57 編輯：農(nóng)士裕來(lái)源：

導(dǎo)讀半導(dǎo)體光刻機(jī)的重要性不言而喻，航空發(fā)動(dòng)機(jī)一直被譽(yù)為人類頂尖工業(yè)皇冠上的明珠。近幾年的不斷突破物理極限的半導(dǎo)體光刻機(jī)的重要性慢慢會(huì)高

半導(dǎo)體光刻機(jī)的重要性不言而喻，航空發(fā)動(dòng)機(jī)一直被譽(yù)為人類頂尖工業(yè)皇冠上的明珠。近幾年的不斷突破物理極限的半導(dǎo)體光刻機(jī)的重要性慢慢會(huì)高于航空發(fā)動(dòng)機(jī)之上。光刻是指在比頭發(fā)絲還細(xì)千倍的地方挑戰(zhàn)激光波長(zhǎng)和量子遂川的極限，有了光刻機(jī)之后，讓工廠能夠在每秒鐘刻出上千億個(gè)晶體管。

60年代以及70年代，光刻并不是高科技。直到60年代末，日本的尼康以及佳能開(kāi)始進(jìn)入該領(lǐng)域，70年代出光刻機(jī)技術(shù)集中在如何保證10個(gè)甚至更多個(gè)掩模板精準(zhǔn)的客套在一起。從60年代開(kāi)始發(fā)展至今，已經(jīng)走過(guò)50多年的時(shí)間。光刻機(jī)之戰(zhàn)從未停止過(guò)，在不久的未來(lái)通過(guò)人類的智慧，一定能夠突破光學(xué)光刻機(jī)的極限，光刻機(jī)在半導(dǎo)體制造業(yè)中占據(jù)著不可替代的地位。