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三星電子目前正在進(jìn)行智能傳感系統(tǒng)的開(kāi)發(fā),目的是為了將產(chǎn)量提高,并且將半導(dǎo)體工廠的運(yùn)營(yíng)方式進(jìn)一步改變。據(jù)報(bào)道三星計(jì)劃在2030年使芯片工廠完全實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化,再也不需要人工進(jìn)行操作。
三星電子所作出的最終目標(biāo)是工廠的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施到2030年能夠?qū)崿F(xiàn)完全無(wú)人值守。想要實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)就需要進(jìn)行大量數(shù)據(jù)管理,并且自動(dòng)優(yōu)化設(shè)備性能的系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)。在該計(jì)劃當(dāng)中最為重要的一個(gè)組成部分是智能傳感系統(tǒng)。智能傳感系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)成功將會(huì)在全自動(dòng)晶圓廠實(shí)現(xiàn)智能化方面,起到非常重要的作用。目前三星電子向智能傳感器等項(xiàng)目方面的投資已經(jīng)達(dá)到數(shù)千萬(wàn)韓元。三星電子目前所研發(fā)的智能傳感器目的是進(jìn)行精元上等離子體的均勻性的測(cè)量。據(jù)報(bào)道這一點(diǎn)非常重要,因?yàn)榈入x子體的均勻性在很大程度上都會(huì)影響半導(dǎo)體制造中的沉積、清潔以及蝕刻等工藝的結(jié)果。
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